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MEMS器件,即微机电系统器件,被誉为微纳世界的科技新星。作为微型化、集成化的高科技产品,MEMS器件在尺寸上达到了微米甚至纳米级别,却能够执行复杂的机械、光学、电子或化学等功能。它们在现代科技领域发挥着越来越重要的...