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摘要:本文揭秘科技前沿,深入探讨MEMS(微机电系统)传感器的奥秘。MEMS传感器作为现代科技的重要组成部分,具有微型化、集成化、智能化等特点,在各个领域发挥着重要作用。文章将介绍MEMS传感器的基本原理、分类、应用...